[11a-N304-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[11a-N304-4] B-doped BaSi₂ 膜へのポストアニール効果の Ba/Si 堆積レート比依存性

〇成田 隼翼¹、山下 雄大¹、青貫 翔¹、都甲 薫¹、末益 崇¹ (1.筑波大)

キーワード：BaSi2、ポストアニール、MBE