[11a-N305-1~11] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[11a-N305-2] チャネリングイオン注入を用いたp型GaNの活性化評価

〇須山 篤志¹、川野輪 仁¹、南川 英輝¹、青木 正彦¹ (1.(株) イオンテクノセンター)

キーワード：チャネリング注入、GaN、活性化