[11a-N321-1~11] 3.7 レーザープロセシング

△ [11a-N321-2] ガラスのフェムト秒レーザ加工中の超高速圧力分布計測

〇(D)服部 隼也¹、伊藤 佑介¹、杉田 直彦¹ (1.東大院工)

キーワード：衝撃波、応力波、干渉法

フェムト秒レーザ加工において材料内部を伝搬する応力波は重要な役割を果たしており，フェムト秒レーザ加工の更なる発展には応力波の作る応力分布の理解が必要不可欠である．本研究ではガラスのフェムト秒レーザ加工中に材料内部を伝搬する応力波の圧力分布を時間分解マッハ・ツェンダー干渉計によって計測し，その実験結果に基づいて有限要素法による応力波伝搬シミュレーションを較正することで，応力分布の推定を実現した．