[11a-N321-1~11] 3.7 レーザープロセシング

△ [11a-N321-4] 空気中での非線形伝搬の効果を用いたレーザー加工形状制御

〇山田 涼平¹、櫻井 治之²、小西 邦昭¹、三尾 典克¹、湯本 潤司¹、五神 真¹ (1.東大院理、2.東大物性研)

キーワード：フェムト秒レーザー加工、非線形光学効果、金属加工

パルス幅が100 fsを切るレーザーを用いた加工の場合、空気のKerr効果による自己収束やイオン化によって、光パルスの空間強度分布が変化し、それによって加工穴の形状が変化する。本研究では、そのような非線形効果による光パルスの強度分布変化の、光の進行方向に対する位置依存性に着目し、計算結果から予測されるパルス形状と、それに対応する位置に銅板試料を設置して加工実験を行なった場合の加工穴形状との関係を明らかにした。