[11a-N321-1~11] 3.7 レーザープロセシング

△ [11a-N321-5] 単一パルスでのレーザーアブレーションの詳細観測を目的とした時間分解デジタルホログラフィ光学系の開発

〇(D)川野 将太郎¹、玉光 未侑¹、櫻井 治之²、小西 邦昭¹、井手口 拓郎¹、湯本 潤司¹、五神 真¹ (1.東大院理、2.東大物性研)

キーワード：レーザー加工、時間分解複素透過率イメージング、時間分解デジタルホログラフィ

近年、単一ポンプパルスによるレーザーアブレーションの過程をプローブパルスの振幅と位相の時間分解画像として可視化できる「時間分解デジタルホログラフィ(TRDH)」により、レーザー加工に伴う物質の構造変化の直接観測が試みられている。本研究では、上記の観測に足る空間分解能と位相決定精度を実現する「回折格子型共光路シアリング干渉計」とそれを用いたTRDH光学系を開発し、その実証実験を行った。