[11a-N322-1~9] 12.5 有機太陽電池

[11a-N322-9] ペロブスカイト層への触媒化学気相堆積法でのSiN_xガスバリア膜堆積

〇Huynh ThiCam Tu¹、嶋﨑 愛²、金子 竜二²、若宮 淳志²、大平 圭介¹ (1.北陸先端大、2.京都大)

キーワード：ペロブスカイト、Cat-CVD SiNx ガスバリア膜、高温高湿試験