[11a-N323-1~9] 12.2 Characterization and Materials Physics

[11a-N323-2] Real-time Surface Potential Measurement of Polar Organic Vapor Deposited Films Using Rotary Kelvin Probe

〇(M2)Masahiro Ohara¹, Yuya Tanaka^1,2, Ishii Hisao^1,2,3 (1.GSSE Chiba Univ., 2.CFS Chiba Univ., 3.MCRC Chiba Univ.)

Keywords:Organic semiconductor, Kelvin Probe, Giant Surface Potential

表面電位の膜厚依存性を測定する際や、光照射などの外乱に対する起電力の応答などを測定する際に表面電位をリアルタイムで測定する技術は不可欠である。
我々は昨年秋の講演会で、噴霧塗布によって基板に有機膜が堆積した際の表面電位変化をリアルタイムで測定する「回転型Kelvin Probe(KP)装置」の開発について報告した。
本研究ではこれを真空槽内に導入し、蒸着による膜の堆積を行いながら表面電位を測定できる装置を開発した。
この装置を用い、従来法では非常に多くの手間と時間がかかっていた有機アモルファス膜の自発配向分極(SOP)による表面電位変化を、膜厚を変化させながら連続的に測定することに成功した。