[11a-N324-1~11] 2.1 検出器デバイス開発

[11a-N324-7] シンチレーター固浸光学系を用いたサブ10 nm分解能X線イメージング検出器の開発

〇亀島 敬^1,2、初井 宇記^2,1 (1.高輝度光セ、2.理研)

キーワード：超解像、X線、シンチレーター

間接型X線イメージング検出器に光の回折限界を超える超解像技術を適応し、空間分解能を向上させること計画している。GAGG:Ceで固浸レンズを形成した高NA顕微鏡光学系を構築することで10 keV光子を415個の可視光子からなる点像として検出し、光子毎に局在化処理を行い像を再構成することで4.8 nm line&spaceを解像できる性能に到達する。本講演では本検出手法の紹介と開発進捗の報告を行う。