[11a-N401-1~5] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[11a-N401-4] 転写法を用いた二段貫通電極自立膜の作製

〇古田 敦大¹、日和佐 伸²、谷口 淳¹ (1.東京理科大先進工、2.オーテックス 株式会社)

キーワード：ナノインプリント、銀インク、貫通電極

近年印刷法を用いて作製したセンサや太陽電池などのフレキシブルデバイスが注目を集めている。これらのデバイスは低コストで製造でき、柔軟であるために容易に曲げることができ、一つの基板上に多くの機能を実装することができる。また、デバイスの集積方法の点では3次元構造による小型化と高密度化の点で優れている貫通電極が注目されている。今回は自立した貫通電極膜の作製方法を検討した。