[11a-S101-1~11] 【一般公開】就活生必見！半導体の進化無くしてAIの進化無し

[11a-S101-6] AIチップ向け露光装置の展開と露光装置へのAIの活用

〇吉田 晶弘¹ (1.キヤノン)

キーワード：半導体、露光、AI