[11a-S201-1~6] 薄膜・表面物理研究のトレンドと今後の展望 ～薄膜・表面物理分科会50周年記念シンポジウム～

[11a-S201-4] イオンビームによる表面・界面の解析と改質

〇鈴木 拓¹ (1.物材機構)

キーワード：イオンビーム、表面・界面

薄膜・表面物理分科会（薄表分科）が50周年を迎えるこのタイミングで、薄表分科が毎年主催してきたイオンビーム研究会（正式には、「イオンビームによる表面・界面の解析と改質」特別研究会）は20周年を迎える。本講演では、このイオンビーム研究会のこれまでの歩みに沿って、研究トレンドの変遷や、最新のトピックスを紹介する。