[11a-S203-1~9] 3.9 テラヘルツ全般

[11a-S203-5] モスアイ構造の断面形状によるテラヘルツ波反射率制御

〇安永 優輝¹、余 希¹、後藤 和真¹、小野 晋吾¹ (1.名工大)

キーワード：テラヘルツ、モスアイ

テラヘルツ帯モスアイ構造の設計の柔軟性を向上させるため、フェムト秒レーザー加工を用い、微細構造の断面形状が異なる反射防止構造を作製した。シミュレーションと測定の結果は広帯域における低反射率を実現し、さらに反射率分布の制御にも成功していることを示している。この結果は微細構造の屈折率分布と反射防止特性の関係を明らかにした上、テラヘルツ電磁波伝送の損失低減において重要な技術になると考えられる。