[11p-N105-1~8] 固相における秩序とは何か：機能を生み出す秩序の概念展開

[11p-N105-1] 反応性固相エピタキシャル成長法＋イオン交換法 ～層状酸化物エピタキシャル薄膜を作る方法～

〇太田 裕道¹ (1.北大電子研)

キーワード：層状酸化物、反応性固相エピタキシャル成長法、イオン交換

パルスレーザー堆積（PLD）法に代表される酸化物の気相薄膜成長において、単純な組成や結晶構造を有するものは比較的簡単にエピタキシャル薄膜を作製することが可能だが、例えば蒸気圧が大きく異なる成分を含む、複雑な層状構造を有するもののエピタキシャル成長は難しいことが多い。本講演ではこのような場合に有効な手段の一つである「反応性固相エピタキシャル成長法」と、「イオン交換法」について紹介する。