[11p-N105-1~8] Deciphering and designing the functional orders exhibiting specific and unique functions of non-crystalline and crystalline solids

[11p-N105-4] Photo-Induced Solid-Phase Reaction of Flexible Oxide Thin Film and its Applications

〇Tetsuo Tsuchiya¹, Yuko Uzawa¹, Tomohiko Nakajima¹, Junichi Nomoto¹, Iwao Yamaguchi¹, Yuki Kitanaka¹ (1.AIST)

Keywords:Flexible, Oxide Thin Film, Photo-Induced Solid-Phase Reaction

低炭素社会を構築するためには、高性能化、軽量化、フレキシブル化を実現すべく金属酸化物薄膜の開発が必要である。我々は、この問題を解決するために、エキシマレーザーによる金属有機化合物やナノ粒子の光反応を利用した薄膜成長法を開発してきている。本講演では、光励起固相反応によるエピタキシャル成長やフレキシブル酸化物薄膜制御を実現し、低抵抗と高仕事関数薄膜や金属絶縁体転移制御について紹介する。