[11p-N105-1~8] 固相における秩序とは何か：機能を生み出す秩序の概念展開

[11p-N105-4] 光励起固相反応によるフレキシブル酸化物薄膜制御と応用

〇土屋 哲男¹、鵜澤 裕子¹、中島 智彦¹、野本 淳一¹、山口 巖¹、北中 佑樹¹ (1.産総研)

キーワード：フレキシブル、酸化物膜、光励起固相反応

低炭素社会を構築するためには、高性能化、軽量化、フレキシブル化を実現すべく金属酸化物薄膜の開発が必要である。我々は、この問題を解決するために、エキシマレーザーによる金属有機化合物やナノ粒子の光反応を利用した薄膜成長法を開発してきている。本講演では、光励起固相反応によるエピタキシャル成長やフレキシブル酸化物薄膜制御を実現し、低抵抗と高仕事関数薄膜や金属絶縁体転移制御について紹介する。