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[11p-N107-14] 双晶形成ネットワークグラフによる多結晶インゴットの結晶組織解析
キーワード:多結晶シリコン、結晶方位解析、対応粒界
双晶形成による結晶学的方位差に帰着した多結晶組織の結晶方位関係をエッジとするグラフを生成し,ネットワーク解析を行なった.太陽電池用多結晶シリコンインゴットの成長方向に対して底部,中央,上部からスライスした156×156 mm2の基板中の結晶粒についてネットワーク解析し,インゴットスケールの特徴抽出を試みた.結晶成長が進むにつれて双晶形成関係で連結された個々のサブグラフはノード数が大きくなり,多数のノードを持つ が基板中を占める面積も大きくなる傾向が見られた.ネットワークグラフを用いた解析によって,インゴットスケールの多結晶組織の特徴抽出が可能となった.