[11p-N301-1~8] 多様化する圧電材料研究 ～センサー、アクチュエーターから5G、IoTまで～

[11p-N301-7] 第一原理計算によるAlN系圧電薄膜材料設計

〇岩崎 誉志紀¹ (1.太陽誘電)

キーワード：第一原理計算、AlN、圧電

本講演では、FBAR (Film Bulk Acoustic Resonator)に用いられるAlN圧電薄膜の特性改善策に向けた第一原理計算を用いた添加物材料設計について報告する。計算結果に加え、実際に共振器の作製を通じて確認された特性改善結果を示し、さらに圧電薄膜に対するTEMやXAFS等の解析を通じて添加物がAlサイトに固溶している事を裏付ける結果を紹介する。