[11p-N321-1~8] 3.7 レーザープロセシング

△ [11p-N321-1] フェムト秒レーザーを用いたナノ薄膜干渉加工法の開発

〇三輪 泰斗^1,2、門口 尚広^1,2、上杉 祐貴²、小澤 祐市²、佐藤 俊一² (1.東北大工、2.東北大多元研)

キーワード：レーザー微細加工、ナノ薄膜加工、フェムト秒レーザー

支持基盤のないナノ薄膜を加工可能なレーザー加工手法を開発した。本手法では、空間光変調器を用いて分岐した複数本のフェムト秒レーザー光を試料表面上で干渉させることで、集束イオンビーム法による薄膜加工法と比較して、迅速かつ簡単に比較的大面積の領域を加工可能である。今回，入射光束数を変えながら様々なパターニングの二次元干渉加工に成功した。講演ではこれらの詳細について報告する。