[11p-N323-1~13] 12.2 評価・基礎物性

[11p-N323-12] 液中AFMよる半導体ウェーハ洗浄用PVAブラシ表面の吸着力及び膨潤度の定量的評価

〇浅野 吉彦¹、五十嵐 陽彦¹、宮田 一輝¹、宮澤 佳甫¹、宇野 恵²、高東 智佳子²、福間 剛士¹ (1.金大、2.荏原製作所)

キーワード：原子間力顕微鏡、PVA