1:15 PM - 1:30 PM
[11p-N403-2] A Study of Fabrication of HTS Nanobridge Josephson Junction via Focused Ion Beam
Keywords:HTS, Nanobridge, FIB
高温超伝導SQUIDは、バイクリスタル型ジョセフソン接合(J.J.)が多く使用されているが、直線の粒界上にしか作製できず、特性のバラツキが大きいなどの問題があった。そこで、ガリウム収束イオンビーム(FIB)によるナノブリッジ型J.J.の作製法を検討した。本研究では、膜厚20 nmのAu層で保護した膜厚50 nmのYBa2Cu3O7-δ薄膜を加速電圧40 kVのFIB照射により幅50 – 150 nmのナノブリッジに加工し、77 Kで交流ジョセフソン効果の発現を確認した。