[11p-N403-1~5] 11.4 Analog applications and their related technologies

[11p-N403-2] A Study of Fabrication of HTS Nanobridge Josephson Junction via Focused Ion Beam

〇(D)Kanji Hayashi¹, Ryo Ohtani¹, Seiichiro Ariyoshi¹, Saburo Tanaka¹ (1.Toyohashi Univ. Technol.)

Keywords:HTS, Nanobridge, FIB

高温超伝導SQUIDは、バイクリスタル型ジョセフソン接合（J.J.）が多く使用されているが、直線の粒界上にしか作製できず、特性のバラツキが大きいなどの問題があった。そこで、ガリウム収束イオンビーム（FIB）によるナノブリッジ型J.J.の作製法を検討した。本研究では、膜厚20 nmのAu層で保護した膜厚50 nmのYBa₂Cu₃O_7-δ薄膜を加速電圧40 kVのFIB照射により幅50 – 150 nmのナノブリッジに加工し、77 Kで交流ジョセフソン効果の発現を確認した。