[11p-N403-1~5] 11.4 アナログ応用および関連技術

[11p-N403-2] FIBによる高温超伝導ナノブリッジジョセフソン接合作製法の検討

〇(D)林 幹二¹、大谷 涼¹、有吉 誠一郎¹、田中 三郎¹ (1.豊橋技科大工学部)

キーワード：高温超伝導薄膜、ナノブリッジ、収束イオンビーム

高温超伝導SQUIDは、バイクリスタル型ジョセフソン接合（J.J.）が多く使用されているが、直線の粒界上にしか作製できず、特性のバラツキが大きいなどの問題があった。そこで、ガリウム収束イオンビーム（FIB）によるナノブリッジ型J.J.の作製法を検討した。本研究では、膜厚20 nmのAu層で保護した膜厚50 nmのYBa₂Cu₃O_7-δ薄膜を加速電圧40 kVのFIB照射により幅50 – 150 nmのナノブリッジに加工し、77 Kで交流ジョセフソン効果の発現を確認した。