[11p-S201-1~8] 薄膜・表面物理研究のトレンドと今後の展望 ～薄膜・表面物理分科会50周年記念シンポジウム～

[11p-S201-3] 多様化する集積回路の潮流とそれを支えるインフォマテックス

〇知京 豊裕¹、木野 日織¹、長田 貴弘¹、柳生 進二郎¹ (1.物材研)

キーワード：半導体、デジタル　トランスフォーメーション、インフォマティクス

集積回路は速い段階からデジタルトランスフォーメーション（DX）が進んだ分野であった。今後は微細化だけでなく、二次元材料など新材料の開発やそれを使ったデバイスの開発が求められると考えられる。そのためには今後はサイバー空間と現実空間を使った材料開発からプロセス開発、試作デバイス作製などの体制をいかに実現するかが課題になる。この講演ではこれまでの半導体デバイスにおけるDX化の経緯を概観し、データ科学を使った材料設計からハイスループット材料合成・評価の進展、プロセスインフォマティクス、新デバイス開発におけるDX化の潮流を展望する。