[11p-S201-1~8] Thin film / surface physics research trends and future prospects -The 50th anniversary of Thin film and surface physics division-

[11p-S201-7] Current Status and Future Prospects of Surface Profile and Property Measurements in the Same Field of View

〇Masatsugu Shigeno¹ (1.Hitachi High-Tech)

Keywords:SPM, AFM, EM

形状と物性を同一視野で観察することにより、個別に測定していた結果では気づく事が出来ない事象の発見や、より深い理解に役立つ事を経験することも多くなってきた。SPMによる形状計測と物性計測」、「SPMと電子顕微鏡」、「SPMと光学顕微鏡」、などによる、同一視野・複合測定の現状と、今後の展望について講演する。