The 82nd JSAP Autumn Meeting 2021

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Symposium (Oral)

Symposium » Thin film / surface physics research trends and future prospects -The 50th anniversary of Thin film and surface physics division-

[11p-S201-1~8] Thin film / surface physics research trends and future prospects -The 50th anniversary of Thin film and surface physics division-

Sat. Sep 11, 2021 1:00 PM - 6:30 PM S201 (Oral)

Koji Sumitomo(Univ. of Hyogo), Heiji Watanabe(Osaka Univ.), Naoka Nagamura(NIMS), Masato Kotsugi(Tokyo Univ. of Sci.)

4:15 PM - 4:45 PM

[11p-S201-7] Current Status and Future Prospects of Surface Profile and Property Measurements in the Same Field of View

Masatsugu Shigeno1 (1.Hitachi High-Tech)

Keywords:SPM, AFM, EM

形状と物性を同一視野で観察することにより、個別に測定していた結果では気づく事が出来ない事象の発見や、より深い理解に役立つ事を経験することも多くなってきた。SPMによる形状計測と物性計測」、「SPMと電子顕微鏡」、「SPMと光学顕微鏡」、などによる、同一視野・複合測定の現状と、今後の展望について講演する。