[11p-S401-1~18] 1.6 超音波

[11p-S401-1] 周波数フィルタリングレーザ超音波法による硬化層厚さ測定

〇李 英根¹、北澤 聡¹、リケッシュ パテル² (1.日立研開、2.ノッティンガム大)

キーワード：レーザ超音波、硬化層、表面波

レーザ超音波技術は、非接触超音波検査技術として注目されている。我々は、安価で小型かつ高ロバストなレーザ超音波装置の実現を目指し、スペックルナイフエッジ光検出器(SKED)を用いたレーザ超音波装置(SKEDレーザUT)を検討している。今回は、周波数フィルタリング法による硬化層厚さ測定の高精度化の検討を行ったので、その結果を報告する。