[11p-S401-1~18] 1.6 Ultrasonics

△ [11p-S401-10] Fabrication of the polarity inverted SiAlN/AlN multilayered films and applications to higher mode film bulk acoustic wave resonators

〇(M1)Jun Sekimoto¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹ (1.Univ. Yamanashi)

Keywords:Aluminum nitride film, film bulk acoustic resonator, polarity inverted film

極性方向が異なる膜を積み重ねたn層極性反転多層膜音響共振子では，単層と同膜厚で薄膜を形成する場合n倍の共振周波数となる.また，単層の薄膜音響共振子と同周波数で動作させる場合，単層のn倍の膜厚を持つため高耐電力な音響共振子が形成可能である．そこでSiAlN，AlN薄膜を用いて1層から8層にかけて極性反転多層膜を形成し，諸特性を評価した．8層極性反転構造多層膜音響共振子では単層と比べて変換効率が向上した.