[11p-S401-1~18] 1.6 Ultrasonics

△ [11p-S401-11] 2nd mode RSAW propagation characteristic on polarity inverted ScAlN films / high velocity nitride substrate

〇(M2)Yusei Takano¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹ (1.Univ. of Yamanashi)

Keywords:surface acoustic wave, ScAlN, polarity inverted film

当研究はさらなる高周波化に向けて，現在報告されている1次モードRSAWより，より高音速な2次モードRSAWについて検討した．結合係数は1次モードRSAWより低くなるが，高周波で動作可能であることを確認した．さらに，分極反転構造を用いることで単層構造の結合係数の約二倍となることを発見した．また，分極反転膜は2層で十分であることも確認し，実際のデバイス化において容易な構造で行えると考えられる．