[11p-S401-1~18] 1.6 Ultrasonics

△ [11p-S401-12] Evaluation of SAW Propagation Properties on Hydrothermally-Synthesized (K,Na)NbO₃ Films

〇Kazuma Yoshizawa¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Yoshiharu Ito², Akinori Tateyama³, Hiroshi Funakubo³, Tsuyoshi Wakabayashi⁴ (1.Univ. of Yamanashi, 2.Nihon Univ., 3.Tokyo Inst. of Technology, 4.Koike Co., Ltd.)

Keywords:surface acoustic wave, hydrothermal synthesis method

下部電極としてSrRuO₃を成膜した(100)，(110)SrTiO₃基板上に(022)，(001)配向KNN膜を水熱合成法により作製した．試料上にAlを真空蒸着し、送受すだれ状電極を作製し，SAW伝搬特性を評価した結果，基板方位を(100)から(110)にすることで，電気機械結合係数K²が向上した．また，Nb原料量0.5gから1gへと増加させることで，0次モードにおける伝搬損失が約1/2まで低減した．