[11p-S401-1~18] 1.6 超音波

△ [11p-S401-12] 水熱合成(K,Na)NbO₃膜のSAW伝搬特性の評価

〇吉澤 宗眞¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、伊東 良晴²、舘山 明紀³、舟窪 浩³、若林 剛⁴ (1.山梨大学、2.日本大学、3.東京工業大学、4.株式会社コイケ)

キーワード：弾性表面波、水熱合成法

下部電極としてSrRuO₃を成膜した(100)，(110)SrTiO₃基板上に(022)，(001)配向KNN膜を水熱合成法により作製した．試料上にAlを真空蒸着し、送受すだれ状電極を作製し，SAW伝搬特性を評価した結果，基板方位を(100)から(110)にすることで，電気機械結合係数K²が向上した．また，Nb原料量0.5gから1gへと増加させることで，0次モードにおける伝搬損失が約1/2まで低減した．