[11p-S401-1~18] 1.6 超音波

△ [11p-S401-16] 水晶を用いた二層構造厚みすべり振動子の動作特性の検討

〇(M1)野口 太生¹、大橋 雄二²、面 政也³、横田 有為¹、黒澤 俊介²、鎌田 圭²、佐藤 浩樹²、豊田 智史²、山路 晃広²、吉野 将生¹、花田 貴¹、吉川 彰^1,2 (1.東北大金研、2.東北大NICHe、3.XMAT)

キーワード：二層構造、厚みすべり振動子、温度補償