[11p-S401-1~18] 1.6 超音波

[11p-S401-8] ボールSAW微量水分センサを用いたステンレス配管曲げ組織の逆相ガスクロマトグラフィの基礎検討

〇辻 俊宏¹、福士 秀幸²、大泉 透²、竹田 宣生² (1.東北大、2.ボールウェーブ)

キーワード：弾性表面波センサ、微量水分、吸脱着

高純度ガス配管システムに用いられる電解研磨ステンレス配管を曲げた場合に発生する表面組織は水分の吸脱着特性に影響を与えるとされるが、計測手法は確立されていない。本発表ではボールSAW微量水分センサを検出器に利用した逆相ガスクロマトグラフィを構成してその影響の検出を試みる。1000ppbのプローブガスを用いて吸着特性を測定した結果外径1/4インチ長さ500mmの配管において有意な差が見られた。