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[11p-S401-9] 質量負荷効果を用いたワイヤレスSAW センサの識別方法の検討
キーワード:弾性表面波
弾性表面波(SAW)を用いることで,ワイヤレスセンサが実現可能となる.これまでに,インピーダンス変化型センサと組み合わせたインピーダンス負荷SAWセンサなどが検討されている.一般的なSAWセンサの識別は反射電極による応答振幅を利用しているが,様々な問題がある.そこで,本研究では,質量負荷効果を利用した位相変化による識別法を提案する.本稿では,実際に質量負荷効果を利用した識別を行う上で必要な考察を行った.