[12a-N106-1~9] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

[12a-N106-8] Measurement of Thermal Conductivity of Si by Laser Heterodyne Photothermal Displacement Method

〇Tomoki Harada^1,2, Yuki Arata¹, Kosuke Morita¹, Tetsuo Ikari¹, Atsuhiko Fukuyama¹ (1.Univ. of Miyazaki, 2.JSPS Research Fellow)

Keywords:thermal conductivity, thermoelectric, non-destructive non-contact measurement

薄膜やナノ構造を用いた熱伝導率の低下による熱電材料の性能向上が報告されている。薄膜やナノ構造にも適用可能で測定による試料の特性変化がない非破壊非接触の熱伝導率測定法を開発する。本研究では、光吸収後の発熱によって生じる試料表面熱膨張をヘテロダイン干渉計により非接触で検出する光ヘテロダイン光熱変位 (LH-PD) 法を新規に構築し、熱伝導率を評価する。本報告では測定手法の確認のためSiとGaAsバルク試料で測定を行い、理論計算結果との比較により、熱伝導率を算出した。