2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[12a-N203-1~10] 6.4 薄膜新材料

2021年9月12日(日) 09:00 〜 11:30 N203 (口頭)

村岡 祐治(岡山大)、室谷 裕志(東海大)

09:00 〜 09:15

[12a-N203-1] Ag系Low-E多層膜の電気抵抗率を低減する最下層の特性

〇(D)水越 光司1,2、山村 剛史3、冨岡 泰宏3、川村 みどり1 (1.北見工大、2.YKK AP、3.YKK)

キーワード：銀、低放射膜、スパッタリング