[12a-N203-1~10] 6.4 薄膜新材料

[12a-N203-10] 壊れやすい試料へ電気接触するためのソフトプローブ

〇吉武 道子¹ (1.物材機構)

キーワード：電気コンタクト、弾性変形、ばね定数

AFMにおいて非破壊測定とみなされる弾性変形領域の圧力を，AFMのような精密な制御無しに目視で調整できるプローブを開発した。本ソフトプローブを用いると，5層グラフェン膜のような非常に薄い膜を破壊せずに電気特性測定や電圧印加を行うことができる。蒸着により電極形成すると蒸着金属が試料内部に潜り込んでしまうSAM膜やポーラスな試料でも，本ソフトプローブを用いれば電極金属が試料内部に潜り込む心配はない。