[12a-N203-1~10] 6.4 薄膜新材料

[12a-N203-4] TiNの有機金属分子線エピタキシー

〇大久保 勇男¹、相澤 俊¹、Mikk Lippmaa²、森 孝雄¹ (1.物材機構、2.東大物性研)

キーワード：分⼦線エピタキシー、遷移⾦属窒化物

遷移金属窒化物、特に複合窒化物は、第一原理計算で種々の特徴的な物性発現が予測されている。我々は、遷移金属窒化物の新物質開拓を行う目的で、有機金属分子線エピタキシー(MO-MBE)装置を開発してきた。前回の応物 春季講演会では、MO-MBE装置によるTiN薄膜作製実験に、機械学習を用いたclosed-loop薄膜作製手法を報告した。本講演では、Tiの原料として有機金属分子・TDMATを、MBE成長の原料として初めて用いたTiNの薄膜成長の詳細について報告する。