[12a-N203-1~10] 6.4 薄膜新材料

[12a-N203-5] BドープIn₂O₃透明導電膜における微量不純物濃度での移動度向上

〇(M1)森 峻¹、一関 夢希也¹、渡辺 幸太郎¹、大榮 海斗¹、永井 裕己¹、山口 智広¹、尾沼 猛儀¹、本田 徹¹、相川 慎也¹ (1.工学院大工)

キーワード：透明導電膜、ホウ素、酸化インジウム