[12a-N203-1~10] 6.4 薄膜新材料

[12a-N203-6] CaF₂ドープIn₂O₃透明導電膜における表面ラフネスおよび導電率のドーパント濃度依存性

〇(M2)大榮 海斗¹、森 峻¹、渡辺 幸太郎¹、永井 裕己¹、山口 智広¹、尾沼 猛儀¹、本田 徹¹、相川 慎也¹ (1.工学院大)

キーワード：透明導電膜、アニオンドープ、In2O3系材料