[12a-N203-1~10] 6.4 薄膜新材料

[12a-N203-9] 高配向vertical aligned MoS₂薄膜の成膜に向けた前駆体の結晶性及び硫化条件の検討

〇松島 聖人¹、高橋 和樹¹、金 冑男^1,2、杉山 睦^1,2 (1.東理大 理工、2.東理大 総研)

キーワード：二硫化モリブデン、配向性、XRD