[12a-N221-1~5] 2.1 Detection Devices

[12a-N221-4] A quantitative study in STEM-EDS with a broadband TES X-ray microcalorimeter toward astromaterials analysis

〇(PC)Tasuku Hayashi¹, Takaaki Noguchi², Yuta Yagi¹, Keita Tanaka¹, Noriko Yamasaki¹, Kazuhisa Mitsuda⁵, Keisuke Maehata³, Toru Hara⁴ (1.ISAS/JAXA, 2.Kyoto Univ., 3.Teikyo Univ., 4.NIMS, 5.NAOJ)

Keywords:X-ray low temperature detector, STEM, astromaterials

我々の研究グループでは、サブマイクロスケールでの地球外物質の分析を目指し、超伝導遷移端型X線マイクロカロリメータ(TESカロリメータ)を走査透過型電子顕微鏡(STEM)のエネルギー分散分光器(EDS)とする分析装置の開発を進めてきた。本公演では、TES-EDSを用いた地球外物質分析手法の開発の詳細について報告する。