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[12a-N221-4] 地球外物質分析のためのTES型X線マイクロカロリメータを用いた定量分析手法の開発
キーワード:X線低温検出器、走査透過型電子顕微鏡、地球外物質
我々の研究グループでは、サブマイクロスケールでの地球外物質の分析を目指し、超伝導遷移端型X線マイクロカロリメータ(TESカロリメータ)を走査透過型電子顕微鏡(STEM)のエネルギー分散分光器(EDS)とする分析装置の開発を進めてきた。本公演では、TES-EDSを用いた地球外物質分析手法の開発の詳細について報告する。