[12a-N301-1~11] 6.1 Ferroelectric thin films

[12a-N301-1] Relationship of deposition conditions and self-orientation of LaNiO₃ thin films prepared by chemical solution deposition method

Rintaro Ashihara¹, Masami Kawahara², Okazaki Hiroyuki³, Shunya Yamamoto³, 〇Takeshi Kawae¹ (1.Kanazawa Univ., 2.Kojundo Chemical, 3.QST Takasaki)

Keywords:LaNiO3, self-orientation, chemical solution deposition

様々な基板上で自己配向性を示すLaNiO₃（LNO）薄膜は、多様なペロブスカイト酸化物薄膜の形成に対するテンプレート層として期待される。これまでに化学溶液堆積（CSD）法で作製したLNO薄膜の自己配向と熱処理条件の関係性や目的物質に対するテンプレート機能について報告してきた。本研究では、CSD溶液や基板材料の違いによるLNO薄膜の自己配向性に関して、主にテンプレート機能を中心に検証を行った。