2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[12a-N301-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

2021年9月12日(日) 09:00 〜 12:00 N301 (口頭)

内田 寛(上智大)、田岡 紀之(名大)、川江 健(金沢大)

09:15 〜 09:30

[12a-N301-2] スパッタ法におけるBiFeO3薄膜の成長機構の検討II

〇菊地 理沙1、村瀬 幹生1、吉村 武1、藤村 紀文1 (1.阪府大院工)

キーワード：強誘電体、BiFeO3、圧電体