[12a-N301-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[12a-N301-6] 作製溶媒がP(VDF-TrFE)薄膜の電気特性に及ぼす影響

〇平塚 一暉¹、吉村 武¹、藤村 紀文¹ (1.大阪府立大学大学院工学研究科電子数物系専攻)

キーワード：圧電体、PVDF

有機強誘電体P(VDF-TrFE)は、優れた圧電特性や焦電特性を有することで知られており、その柔軟性や低い誘電率から、エナジーハーベスタやセンサ応用への期待が高まっている。我々は、P(VDF-TrFE)薄膜を用いた圧電MEMS超音波トランスデューサー(pMUT)の開発を目指している。本研究では、P(VDF-TrFE)薄膜を作製する際の条件が、P(VDF-TrFE)の微構造や電気特性に及ぼす影響を明らかにすることを目的としている。