[12a-N301-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[12a-N301-8] 水熱合成法で作製した(K,Na)NbO₃膜の圧電特性における方位依存性

〇(D)舘山 明紀¹、伊東 良晴^1,2、白石 貴久¹、折野 裕一郎¹、黒澤 実¹、舟窪 浩¹ (1.東工大、2.日大)

キーワード：圧電体、水熱合成、KNN

我々は水熱合成法で作製した(100)配向(K,Na)NbO₃膜の圧電特性を報告してきた。本発表では(100)、(110)、(111)STO基板上に配向制御した(K,Na)NbO3膜を作製し、配向性が面内圧電定数e_31,fに与える影響について、種々の測定法を用いて評価したので報告する。