[12a-N302-1~10] 12.2 評価・基礎物性

[12a-N302-8] 拡散法によるドーピングルブレン単結晶基板の作製

〇宇都 翔子¹、伊澤 誠一郎^1,2、平本 昌宏^1,2 (1.分子研、2.総研大)

キーワード：ルブレン単結晶、拡散法、ドーピング