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[12a-N306-1] オスミウムを触媒に用いた細径単層カーボンナノチューブ成長
キーワード:カーボンナノチューブ、CVD、オスミウム
アルコールCVD法においてオスミウムを触媒に用いることで,直径1 nm程度以下の細径単層カーボンナノチューブ(SWCNT)が得られることがわかった。特に,成長温度800℃,エタノール圧力200 Paの条件下では,Si基板上に垂直配向した細径SWCNTが生成した。本研究はオスミウムを触媒を用いることでSWCNT成長に成功した最初の報告である。