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[12a-N306-3] Ir触媒を用いた単層カーボンナノチューブ成長におけるエタノール圧力および成長温度依存性
キーワード:カーボンナノチューブ、CVD
我々のグループではこれまでにIr触媒を用いたアルコール触媒化学気相成長(ACCVD)法により、垂直配向した細径SWCNTの成長に成功している。また、Ir触媒を用いたSWCNT成長は他の触媒と異なり、炭素源の圧力が高いほど細径のSWCNTが得られることを報告している。今回、細径SWCNTの成長量増加に向けて、エタノール圧力と成長温度依存性に着目して実験を行った。