[12a-N306-1~9] 17.1 Carbon nanotubes & other nanocarbon materials

△ [12a-N306-6] Growth of taller and denser carbon nanotube forests by oxidation degree control of Al_xO_y catalyst supporting layer

〇Yuichiro Tanaka¹, Mitsuaki Maetani¹, Haolu Lin¹, Hiroo Suzuki¹, Takeshi Nishikawa¹, Yasuhiko Hayashi¹ (1.Okayama Univ.)

Keywords:carbon nanotube

カーボンナノチューブ(CNT)が基板上に長尺・高密度に成長したCNTフォレストの合成時には触媒粒子の移動や凝集などの触媒粒子の構造変化が起こる．CNTフォレストの合成中に進行する触媒粒子の構造変化を抑えるために，触媒粒子の担持層である酸化アルミニウム(Al_xO_y)層の成膜条件に着目した．Al_xO_y成膜時の酸素分圧とCNTフォレストの成長との関係を触媒粒子構造，担持層の膜構造及びCNTフォレスト構造の解析により報告する．